用于光电子器件封装的微操作系统

摘要：

介绍了用于光波导与光纤耦合对接的微操作系统的构成,并对该系统的若干关键技术进行了讨论,包括微操作机构设计、系统标定、视觉伺服系统、微光功率检测控制系统、光功率搜索的路径规划以及微流量进给系统等.

关键词： 微操作 视觉伺服 光波导 光电子器件 封装技术

作者: 苏领松 毕树生 刘荣 宗光华

作者单位: 北京航空航天大学机器人研究所

会议类型: 国内会议

会议名称: 第五届海内外青年设计与制造科学会议

会议地点: 大连

会议语种:中文

页码: 12-15

在线出版日期: 2002-07-01（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）