高温压力传感器技术研究

摘要：

本文提出的基于MEMS技术的耐高温压力传感器,采用耐高温SIN力敏元件以及梁膜组合设计,保证传感器有较高频响的同时,具有耐平衡高温和瞬时超高温的能力.研制的耐高温压力传感器可以用于0~220℃恶劣环境条件下的压力测量,并能解决1000℃的瞬时冲击.文中给出了传感器的结构模型和实测数据,得到比较满意结果.

关键词： 压力传感器 梁膜组合设计 瞬时冲击

作者: 赵玉龙 赵立波 蒋庄德

作者单位: 西安交通大学精密工程研究所(西安)

会议类型: 国内会议

会议名称: 第五届海内外青年设计与制造科学会议

会议地点: 大连

会议语种:中文

页码: 6-8

在线出版日期: 2002-07-01（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）