用催化剂控制硅纳米线直径的研究

摘要：

本文研究了固-液-固(SLS)生长机制中催化剂与硅纳米线直径的关系,发现Si片上沉积的催化剂厚度和种类对硅纳米线的直径都有一定的影响.当使用Ni做催化剂时,硅纳米线的直径与Ni膜厚度有关.其中硅纳米线的最大直径随催化剂厚度减小而减小,但最小直径基本不改变.当用Au做催化剂时,硅纳米线的平均直径和直径分布最小(10nm~20nm),但硅纳米线的直径不随Au膜厚度减小而减小.

关键词： 硅纳米线 固-液-固机制 催化剂 制备方法

作者: 邢英杰 奚中和 薛增泉 俞大鹏

作者单位: 北京大学电子学系(北京) 北京大学物理系(北京)

会议类型: 国内会议

会议名称: 中国真空学会五届三次理事会暨学术会议

会议地点: 北京

会议语种:中文

页码: 15-17,22

在线出版日期: 2001-10-01（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）