质谱分析与检漏技术在成像器件研究中的应用

摘要：

运用四极质谱计对微光成像器件的制管工艺质量进行大量质谱分析监测,分清了各道工序污染对制管的影响.使制管工艺得到改进,使制管成品率提高了50﹪.

关键词： 质谱分析 成品率 检漏技术 微光成像器件

作者: 徐江涛

作者单位: 西安应用光学研究所

会议类型: 国内会议

会议名称: 中国真空学会五届三次理事会暨学术会议

会议地点: 北京

会议语种:中文

页码: 64-66,96

在线出版日期: 2001-10-01（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）