ECR-PECVD薄膜沉积工艺

摘要：

由偏心静电单探针诊断了ECR-PECVD反应室内的等离子体密度的空间分布规律。

关键词： ECR-PECVD薄膜 等离子体密度 空间分布 沉积工艺

作者: 陈俊芳 吴先球 王德秋 任兆杏

作者单位: 华面师范大学 中国科学院 等离子体物理研究所

会议类型: 国内会议

会议名称: 第九届全国等离子体科学技术会议

会议地点: 大连

会议语种:中文

页码: 96-100

在线出版日期: 1999-08-09（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）