对半导体硅材料的发展的展望

摘要：

本文作者就我国在半导体硅材料的生产与技术与国外相比,我国发展太慢,国外在半导体市的硅材料市场已经走向资本主义大联合,年产量达到2万多顿,并在利用纳米技术,把IT产业推向新时代.

关键词： 半导体硅材料 硅片 精馏 化学精制 纳米材料

作者: 范继仲

作者单位: 北京有色冶金设计研究院

会议类型: 国内会议

会议名称: 中国近现代科学技术回顾与展望国际学术研讨会

会议地点: 北京

会议语种:中文

页码: 836-839

在线出版日期: 2002-04-10（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）