钽非晶膜的制备与性能分析

摘要：

本文采用先低温离子渗氮后再熔盐阳极化的方法在钽表面形成厚度达微米数量级的非晶态层,该层相对于直接阳极化层,组织致密、硬度高、粗糙度低、电阻高.

关键词： 钽 非晶层 低温离子渗氧 熔盐阳极化

作者: 周喆 罗文 张德元 陆德平 曾卫军 付青峰 廖钟亮

作者单位: 江西省科学院应用物理研究所(南昌)

会议类型: 国内会议

会议名称: 第七届全国典型零件热处理学术交流会暨第四届全国热处理学会物理冶金学术交流会

会议地点: 乌鲁木齐

会议语种:中文

页码: 171-174

在线出版日期: 2002-07-01（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）