等离子体离子注入DLC多层膜机械特性

摘要：

采用非平衡磁控溅射及等离子体离子混合注入方法在奥氏体不锈钢1Cr18Ni9Ti基体上制备N/TiN/Ti(N,C)/DLC梯度涂层.研究了类金刚石梯度膜的结构特征和力学性能.试验结果表明,N/TiN/Ti(N,C)/DLC梯度膜最外层为典型的含H的DLC层.梯度膜的硬度、弹性模量,断裂韧性以及界面结合强度值分别为19.84GPa,190.03GPa,3.75MPa·m<”1/2>和5.68MPa·m<”1/2>.试验所制备的DLC多层膜比DLC单层膜具有更好的综合机械特性.

关键词： DLC 断裂韧性 界面结合强度 1Cr18Ni9Ti 离子注入

作者: 蔡珣 马峰 陈秋龙 李刚 马洪涛

作者单位: 上海交通大学教育部高温材料与高温测试重点试验室(上海) 清华大学摩擦学国家重点试验室(北京)

会议类型: 国内会议

会议名称: 第七届全国典型零件热处理学术交流会暨第四届全国热处理学会物理冶金学术交流会

会议地点: 乌鲁木齐

会议语种:中文

页码: 117-121,132

在线出版日期: 2002-07-01（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）