ECR等离子体源的两维计算机模拟研究

摘要：

该文采用自治微波功率吸收的两维混合模型，数值模拟了ECR等离子体源中的各种物理参量，重点研究了中性气压、微波功率对等离子体参数（等离子体密度、等离子体位势）、以及基板表面的离子电流密度、离子能量、方向角分布的影响，并讨论了ECR等离子体中的某些非线性现象。我们的数值结果与许多实验测量定性相符。

关键词： ECR 等离子体 两维混合模型 数值模拟

作者: 刘明海 胡希伟 邬钦崇 俞国扬

作者单位: 中国科学院等离子体物理研究所 中国科技大学近代物理系

会议类型: 国内会议

会议名称: 第九届全国等离子体科学技术会议

会议地点: 大连

会议语种:中文

页码: 1-14

在线出版日期: 1999-08-09（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）