硅功率器件液相钝化的研究与试验

摘要：

本文讨论了在硅功率器件制造工艺中液相钝化工艺对硅功率器件一些性能的影响因素.并就这些因素提出了实用的工艺措施.避免和减少这些因素对硅功率器件一些性能的不利影响.

关键词： 功率器件 液相钝化 成膜条件

作者: 彭昭廉 余岳辉 李焕炀 王芳

作者单位: 华中科技大学电子系 中船总公司709所

会议类型: 国内会议

会议名称: 中国电工技术学会电力电子学会第八届学术年会

会议地点: 深圳

会议语种:中文

页码: 175-177

在线出版日期: 2002-11-01（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）