碳化硅功率器件

摘要：

本文从碳化硅半导体材料特性,碳化硅功率器件工艺和特性以及国内发展情况几个方面介绍碳化硅功率器件的研究现状和发展前景.

关键词： 碳化硅功率器件 碳化硅 电气性能 阻断电压 功率开关器件

作者: 张玉明 张义门

作者单位: 西安电子科技大学微电子所(西安)

会议类型: 国内会议

会议名称: 中国电工技术学会电力电子学会第八届学术年会

会议地点: 深圳

会议语种:中文

页码: 147-151

在线出版日期: 2002-11-01（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）