碳化硅——未来功率器件材料

摘要：

本文首先介绍了未来功率器件材料——碳化硅的电气特性和物理特性,介绍了碳化硅在电力功率开关器件中的应用以及碳化硅器件的制造工艺.

关键词： 碳化硅 半导体材料 电气特性 物理特性 功率开关器件

作者: 徐南屏

作者单位: 中国电工技术学会电力电子学会

会议类型: 国内会议

会议名称: 中国电工技术学会电力电子学会第八届学术年会

会议地点: 深圳

会议语种:中文

页码: 140-146

在线出版日期: 2002-11-01（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）