标准漏孔及其校准

摘要：

本文通过介绍标准漏孔的工作原理,结构,分类和校准方法的基础上,论述标准漏孔的使用方法和应该注意的问题.

关键词： 标准漏孔 校准方法 氦质谱检漏仪 密封检漏

作者: 刘秀林

作者单位: 上海航天局808研究所

会议类型: 国内会议

会议名称: 中国真空学会质谱与检漏专委会第十一届年会.中国计量测试学会真空校准专委会市第六届年会

会议地点: 桂林

会议语种:中文

页码: 93-96

在线出版日期: 2002-11-06（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）