半导体器件气密性与检漏技术

摘要：

气密性失效是半导体器件的常见病,是提高半导体器件可靠性的主要障碍之一,本文探讨影响半导体器件气密性的主要因素,以及半导体器件检漏技术.

关键词： 半导体器件 气密性失效 检漏技术

作者: 冯险峰

作者单位: 中国电子科技集团第十研究所

会议类型: 国内会议

会议名称: 中国真空学会质谱与检漏专委会第十一届年会.中国计量测试学会真空校准专委会市第六届年会

会议地点: 桂林

会议语种:中文

页码: 75-75

在线出版日期: 2002-11-06（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）