在电工电子工业中应用的氦质谱检漏仪及其辅助设备

摘要：

本文通过介绍检漏仪及氟油平台在电子工业的应用,系统的介绍了氦质谱检漏仪的原理,电子工业中几种常用检漏方法.并重点介绍了ZQJ-230E型氦质谱检漏仪及充氦充氦氟油检漏平台的性能及主要特点.

关键词： 电子工业 检漏 检漏平台 氦质谱检漏仪

作者: 周小弟

作者单位: 北京中科科仪技术发展有限责任公司

会议类型: 国内会议

会议名称: 中国真空学会质谱与检漏专委会第十一届年会.中国计量测试学会真空校准专委会市第六届年会

会议地点: 桂林

会议语种:中文

页码: 64-69

在线出版日期: 2002-11-06（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）