氦质谱检漏仪校准方法探讨

摘要：

氦质谱检漏仪本质旧一种应用质谱仪原理的气体分析仪,通过调谐仪器的手段,使氦束仅仅打击一个离子收集极,由离子束产生的电流被放大,并且它的大小在吸入试样中是氦气分压力之量度.因氦质谱检漏仪种类繁多.无统一的技术指标,一般按各自产品说明书所定的准确度指标来校准.全国计量部门尚无统一的规范.我单位进行了尝试.下面做简略的说明.

关键词： 氦质谱检漏仪 技术指标 校准方法 清除时间

作者: 刘深 广东省计量科学研究所

作者单位: 华南国家计量测试中心

会议类型: 国内会议

会议名称: 中国真空学会质谱与检漏专委会第十一届年会.中国计量测试学会真空校准专委会市第六届年会

会议地点: 桂林

会议语种:中文

页码: 63-63

在线出版日期: 2002-11-06（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）