大容器氦质谱检漏技术的应用

摘要：

本文讨论运用氦质谱检漏技术对高真空大容器进行检漏时,真空系统中检漏仪连接方式对检漏灵敏度的影响,介绍了减小系统检漏灵敏度影响因素的方法.

关键词： 真空检漏 氦质谱检漏 粒子加速器 真空大容器

作者: 蒲洁 徐淑珍 张华全

作者单位: 中国工程物理研究院(四川绵阳)

会议类型: 国内会议

会议名称: 中国真空学会质谱与检漏专委会第十一届年会.中国计量测试学会真空校准专委会市第六届年会

会议地点: 桂林

会议语种:中文

页码: 62-62

在线出版日期: 2002-11-06（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）