应用”灵活法”保证检漏精度

摘要：

本文对电子元器件氦质谱背压检漏的”固定法”和”灵活法”分析对比后,运用公式计算并制成”灵活方法不同加压条件的拒收测量漏率表”,简化了灵活方法,保证了检漏精度,提高了检漏工作效率.

关键词： 灵活法 固定法 拒收测量漏率表 氦质谱背压检漏 电子元器件

作者: 刘秀林

作者单位: 上海航天局808所

会议类型: 国内会议

会议名称: 中国真空学会质谱与检漏专委会第十一届年会.中国计量测试学会真空校准专委会市第六届年会

会议地点: 桂林

会议语种:中文

页码: 45-48

在线出版日期: 2002-11-06（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）