常压累积法氦质谱检漏的误差分析

摘要：

通过对常用的大气压累积法氦质谱检漏过程和标定技术的分析,导出了该方法所带来的系统误差的一般表达式.指出了消除系统误差.提高常压累积法氦质谱检漏准确度和可靠度的可能的努力方向.

关键词： 氦质谱检漏 常压累积法 误差分析

作者: 康小录

作者单位: 上海航天动力机械研究所

会议类型: 国内会议

会议名称: 中国真空学会质谱与检漏专委会第十一届年会.中国计量测试学会真空校准专委会市第六届年会

会议地点: 桂林

会议语种:中文

页码: 38-41

在线出版日期: 2002-11-06（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）