四极滤质器在阴极研究中的应用

摘要：

本文介绍了德国Pfeiffer QMA200四极滤质器的简明性能,并论述该仪器在阴极研究中的应用情况.研究不同气体对阴极的不同作用以及不同材料的放气特性.

关键词： 四极滤质器 阴极 微波功率器件 残气分析 气体中毒

作者: 邵文生 阴极电子学研究室 张珂 阴极电子学研究室 李季 阴极电子学研究室

作者单位: 中国电子科技集团第十二研究所

会议类型: 国内会议

会议名称: 中国真空学会质谱与检漏专委会第十一届年会.中国计量测试学会真空校准专委会市第六届年会

会议地点: 桂林

会议语种:中文

页码: 29-32

在线出版日期: 2002-11-06（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）