德国联邦物理技术研究院(PTB)气体微流量计量简介

摘要：

本文介绍德国联邦物理技术研究院(PTB)研制的气体微流量计,用于连续膨胀法校准系统压力的产生,漏孔漏率的测量以及真空泵抽速的测定等工作模式.

关键词： 气体微流量计 真空技术 漏孔漏率测量

作者: 李得天

作者单位: 兰州物理研究所(兰州)

会议类型: 国内会议

会议名称: 中国真空学会质谱与检漏专委会第十一届年会.中国计量测试学会真空校准专委会市第六届年会

会议地点: 桂林

会议语种:中文

页码: 23-23

在线出版日期: 2002-11-06（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）