四极质谱计灵敏度与离子源参数关系的实验研究

摘要：

本文以OMS422型四极质谱计为实验对象.对其离子源的参数如:发射电源,阴极电压和聚焦电压进行了调节,测试并分析了灵敏度的变化情况.

关键词： 四极质谱计 质谱分析 离子源参数 灵敏度

作者: 冯焱 李得天 张涤新 张建军

作者单位: 兰州物理研究所(甘肃兰州)

会议类型: 国内会议

会议名称: 中国真空学会质谱与检漏专委会第十一届年会.中国计量测试学会真空校准专委会市第六届年会

会议地点: 桂林

会议语种:中文

页码: 11-11

在线出版日期: 2002-11-06（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）