用四极质谱计定性分析残气成分的变化

摘要：

在真空系统中的残气一般是混合物.因此气体成分的变化比单个化合物的变化复杂得多.本文结合实例,用四极质谱计进行残气变化的定性分析.

关键词： 四极质谱计 真空系统 残气定性分析

作者: 张兆祥 张耿民 赵兴钰 张浩 薛增泉

作者单位: 北京大学电子学系(北京)

会议类型: 国内会议

会议名称: 中国真空学会质谱与检漏专委会第十一届年会.中国计量测试学会真空校准专委会市第六届年会

会议地点: 桂林

会议语种:中文

页码: 9-9

在线出版日期: 2002-11-06（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）