硬质纳米多层与复合膜的研究进展

摘要：

硬度超过40GPa的固体薄膜称为超硬膜,这类薄膜的硬度可分为本征硬度和非本征硬度,本文主要介绍非本征硬度的纳米多层与复合膜的研究进展状况.

关键词： 硬质膜 纳米超硬多层膜 纳米超硬混合膜

作者: 李成明 吕反修 唐伟忠

作者单位: 北京科技大学材料学院(北京)

会议类型: 国内会议

会议名称: 首届中国热处理活动周学术会议

会议地点: 北京

会议语种:中文

页码: 104-107

在线出版日期: 2002-08-01（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）