TiO<,2>薄膜的液相沉积法制备及其电色性能研究

摘要：

该文采用液相沉积法(LPD)制备了透明TiO<,2>薄膜，并研究了薄膜在热处理过程中的变化和薄膜的锂离子注入特性，发现随着薄膜热处理温度的升高，薄膜在循环伏安过程中注入／抽出的电量减少，薄膜表现弱的阴极变色效应，可望用作器件的对电极。

关键词： 氧化钛 薄膜 液相沉积法 电色性能

作者: 王晓萍 于云 高濂 胡行方

作者单位: 中国科学院上海硅酸盐研究所(上海)

会议类型: 国内会议

会议名称: 中国空间科学学会空间材料专业委员会”99学术交流会

会议地点: 昆明

会议语种:中文

页码: 82～86

在线出版日期: 1999-08-01（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）