辉光放电辅助激光沉积（２００）－ＭｇＯ／Ｓｉ薄膜的研究

摘要：

采用辉光放电辅助激光沉积法成功地在Ｓｉ（１００）下衬底上低温制备出（２００）取向的ＭｇＯ薄膜。实验表明，辅助以光放电可以明显地提高沉积速率和降低合成温度。同时，用Ｘ射线衍射（ＸＲＤ）、原子力显微镜（ＡＦＭ）和透射电镜（ＴＥＭ）对薄膜的微观结构进行了分析。

关键词： 氧化镁 脉冲激光沉积 薄膜

作者: 符晓荣 黄继颇 多新中

作者单位: 科学院上海冶金所信息功能材料国家重点实验室(上海)

会议类型: 国内会议

会议名称: 第十届全国电子束、离子束、光子束学术年会

会议地点: 长沙

会议语种:中文

页码: 437～440

在线出版日期: 1999-11-01（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）