关键词： 氧化硅薄膜 薄膜发光 发光稳定性
作者: 樊瑞新
作者单位: 大学硅材料国家重点实验室(杭州)_
会议类型: 国内会议
会议名称: 第十一届全国半导体集成电路、硅材料学术会议
会议地点: 大连
会议语种:中文
页码: 102～105
在线出版日期: 1999-09-01（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）