关键词： 氧 轴向均匀性 硅 单晶生长
作者: 吴志强 方锋 郝玉清 万关良
作者单位: 有色金属研究总院半导体材料工程中心
会议类型: 国内会议
会议名称: 1998年全国半导体硅材料学术会议
会议地点: 上海
会议语种:中文
页码: 67～68
在线出版日期: 1998-09-01（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）