氧原子在化学气相淀积金刚石过程中的作用

摘要：

含氧体系低压金刚石的制备由于氧的存在，能够改善金刚石薄庆质量，提高淀积速率和降低淀积温度而被人们所重视。该文根据非平衡热力学耦合理论模型计算得到了碳氢氧体系金刚石生长的投影相图，与大量的实验结果比较相符合。讨论了氧原子在金刚石淀积过程中的作用，计算结果可以为金刚石生长实验提供定量化的条件选择和优化的依据。

关键词： 氧 金刚石 相图

作者: 刘志杰 张卫 万永中 王季陶

作者单位: 大学电子工程系CVD研究室(上海)

会议类型: 国内会议

会议名称: 第三届中国功能材料及其应用学术会议

会议地点: 重庆

会议语种:中文

页码: 1025～1027

在线出版日期: 1998-10-01（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）