衍射微透镜列阵的研究与应用

摘要：

该文研究了衍射微透镜列阵的设计与制作工艺方法，在此基础上研制出一系列衍射微透镜列阵，衍射效率均大于85℅，在深紫外、可见及红外波前传感器中得到了成功应用。

关键词： 衍射透镜 衍射效率 激光直写 RIE刻蚀

作者: 杜春雷 周礼书 邱传凯

作者单位: 科学院光电技术研究所,微细加工光学技术国家重点实验室

会议类型: 国内会议

会议名称: 中国光学学会光学制造技术专业委员会首届学术会议

会议地点: 成都

会议语种:中文

页码: 17～19

在线出版日期: 1998-05-20（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）