离子事刻蚀法制作多台衍射光海陆空元件研究

摘要：

该文分析了离子束刻蚀法用于多台阶衍射光学零件(DOE)制作中与刻蚀速率有关的影响因素及工艺参数的选取，并提出了一种有效的定标方法，该方法在实际制作16台衍射光学元件过程中证明，是一种行之有效的方法。

关键词： 衍射光学元件 离子束刻蚀法 定标

作者: 付永启 马月英 卢振武 廖江红 翁志成 赵晶丽

作者单位: 中国科学院箕光学精密机械研究所应用光学国家重点实验室(长春)

会议类型: 国内会议

会议名称: 中国光学学会98年中国青年光学学术研讨会

会议地点: 西安

会议语种:中文

页码: 175-180

在线出版日期: 2000-01-01（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）