SOI高温压阻压力传感器的开发与应用

摘要：

压阻式压力传感器是解决高温压力测量的优选方案，克服隔离PN结是问题的关键。通常的SOS法很不理想，该文报道了作者用微机械加工的硅衬底代替兰宝石衬底，用Si-Si直接键合工艺制作的SOI结构压阻高温压力传感器。

关键词： 压阻式压力传感器 高温压力测量

作者: 王文襄 刘秀娥 王麦广 杨根庆 张杆雄 陆德仁

作者单位: 宝鸡传感器研究所 中科院上海冶金所

会议类型: 国内会议

会议名称: 第六届全国敏感元件与传感器学术会议

会议地点: 北京

会议语种:中文

页码: 182～184

在线出版日期: 1999-10-01（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）