500pa微压传感器的研制

摘要：

该文在对压阻式扩散硅微压传感器的设计、制作等方面进行了研究，并考虑了微压传感器灵敏度、非线性、稳定性和过载能力等方面的相互矛盾和存在问题，在PT-24的版图基础上，对版图设计和工艺技术作了改进，成功地制作高灵敏度压力传感器。样品灵敏度≥30mV/5V/0.5kpa，非线性≤±1FS，过载能力≥100倍满量程。

关键词： 压阻式扩散硅 传感器 硅压力传感器 梁膜结构

作者: 沈绍群 鲍敏杭 孙立镌

作者单位: 复旦大学电子工程传感器研究室(上海) 哈尔滨理工大学计算机应用技术研究所(哈尔滨)

会议类型: 国内会议

会议名称: 第六届全国敏感元件与传感器学术会议

会议地点: 北京

会议语种:中文

页码: 187～190

在线出版日期: 1999-10-01（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）