关键词： 压阻式 加速度传感器 灵敏度
作者: 李军俊 刘理天 杨景铭
作者单位: 大学微电子学研究所(北京)
会议类型: 国内会议
会议名称: 第十一届全国半导体集成电路、硅材料学术会议
会议地点: 大连
会议语种:中文
页码: 618～621
在线出版日期: 1999-09-01（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）