关键词： 压敏薄板 压敏电容 频率输出 微传感器
作者: 焦玉忠 韩雷
作者单位: 厦门大学机电工程系
会议类型: 国内会议
会议名称: 第四届全国微米/纳米技术学术会议
会议地点: 上海
会议语种:中文
页码: 85-87
在线出版日期: 2000-06-01（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）