非晶硅的瞬态光电导响应及其光致变化

摘要：

利用具有良好瞬态响应的EG&G的4400信号检测系统测量了a-Si:H样品的退火态和不同时间曝光后的瞬态光电导的衰减情况.对实验结果的拟合分析表明:有两种陷阱对衰减有贡献;曝光使光生载流子的复合中心增加,寿命减小.比较了不同制备条件的非晶硅薄膜的光致变化情况,证实了高氢稀释的薄膜更加稳定.

关键词： 非晶硅薄膜 光电导 瞬态响应 光致变化

作者: 孔光临 张世斌 廖显伯 王永谦 刁宏伟

作者单位: 中国科学院半导体所中国科学院凝聚态物理中心表面物理国家重点实验室(北京)

会议类型: 国内会议

会议名称: 第二届全国金属功能材料第九届全国非晶态材料和物理第三届全国稀土永磁材料联合学术研讨会

会议地点: 北京

会议语种:中文

页码: 88-90

在线出版日期: 2001-09-01（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）