用于智能机器人的微型化压力传感器阵列与温度传感器集成系统

摘要：

本文提出并研究了一种真空微电子压力传感器阵列和薄膜铂电阻温度传感器集成系统,通过计算机模拟进行了优化设计,完成了初步样品的制备.

关键词： 压力传感器阵列 温度传感器 集成系统 智能机器人

作者: 苏杰 传感技术国家重点实验室 夏善红 传感技术国家重点实验室 陈绍凤 传感技术国家重点实验室

作者单位: 中国科学院电子学研究所

会议类型: 国内会议

会议名称: “面向新世纪中国机器人产业化发展论坛”大会

会议地点: 青岛

会议语种:中文

页码: 174-177

在线出版日期: 2000-08-01（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）