厚膜电容式集成压力传感器感压元件研究

摘要：

采用厚膜技术研制新型电倥式集成压力传感和感压元件。具有抗干扰能力强，灵敏度高，受分布电容、寄生电容影响小，耐腐蚀，耐高温的特点。该文主要介绍其原理、设计，并对非线性等相关技术及工艺问题进行了探讨。

关键词： 压力传感器 厚膜技术 感压元件

作者: 马以武 虞学犬

作者单位: 中国科学院合肥智能机械研究所

会议类型: 国内会议

会议名称: 中国电子学会第十一届电子元件学术年会

会议地点: 厦门

会议语种:中文

页码: 192～195

在线出版日期: 2000-11-21（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）