微结构硅梁谐振器的特性研究
作者利用微电子机械加工技术成功研制出用于高精度压力传感器的硅梁谐振器，谐振器采用电热激振，Pt压阻拾振。谐振梁厚小于20微米，宽150微米，长2毫米。谐振器在latm的空气中的品质因素Q值接近1000，在真空（10<”-2>Pa以下）中的品质因素Q值大小20000，是国内报道的最高水平Q值。并讨论热激励条件下谐振条件下谐振梁的开环振动特性，包括热激励功率与谐振频率移动的关系以及非线性振动特性。
压力传感器 硅梁谐振器 电热激振
陈德勇 崔大付 王利
中国科学院电子学研究所传感技术国家重点实验室(北京)
国内会议
北京
中文
26～28
1999-10-01（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）