国内外新原理新结构微特电机综述

摘要：

本文介绍近年来采用新的原理新材料开发出的精密直线驱动的弹性波电动机,利用压电陶瓷材料开发的微位移驱动器和旋转电动机以及应用微细加工,研制超微型电动机等国内的现状.

关键词： 微特电机 微电子技术 直线驱动执行器 精细加工

作者: 张思明

作者单位: 信息产业部电子第21研究所

会议类型: 国内会议

会议名称: 上海市电机工程学会、上海市电工技术学会2001年学术年会

会议地点: 上海

会议语种:中文

页码: 280-283

在线出版日期: 2001-10-01（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）