准分子激光微细加工光路变换的研究

摘要：

本文通过对准分子激光光束特性进行研究,并根据准分子激光微加工的需要,设计了一套实用的准分子激光微加工光路.

关键词： 准分子激光 光学系统 场镜 微电子工艺 微细加工 光路变换

作者: 荆涛 殷泊华 陈涛 蒋毅坚 左铁钏

作者单位: 北京工业大学激光工程研究院(北京)

会议类型: 国内会议

会议名称: 第十五届全国激光学术会议

会议地点: 武汉

会议语种:中文

页码: 592-594

在线出版日期: 2002-06-01（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）