准分子激光精密加工陶瓷、玻璃等硬脆材料的研究

摘要：

采用波长248nm的KrF准分子激光器,对Al<,2>O<,3>陶瓷片及玻璃片的精密加工进行了研究,探讨了各种工艺参数对加工质量的影响规律.同时研究了激光工艺参数对材料表面粗糙度的影响,并且对加工后工件的表面形貌进行了分析.

关键词： 准分子激光器 激光精密加工 脉冲切割 硬脆材料

作者: 江超 敖育红 龙华 李波 胡少六 王又青

作者单位: 华中科技大学激光技术国家重点实验室(武汉)

会议类型: 国内会议

会议名称: 第十五届全国激光学术会议

会议地点: 武汉

会议语种:中文

页码: 575-578

在线出版日期: 2002-06-01（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）