激光微区烧蚀典型工程材料的机理研究

摘要：

研究了LD抽运YAG激光烧蚀W,Ta,Nb,Fe等金属和单晶硅、金刚石等材料的速率与机理,结果表明材料的熔点、沸点、导热性、晶体结构等参数对激光烧蚀速率影响很大.对激光烧蚀的物理模型进行了初步分析.

关键词： YAG激光 微区烧蚀 烧蚀速率 激光烧蚀 激光加工

作者: 曾晓雁 B.Ozygus H.Weber

作者单位: 华中科技大学激光技术国家重点实验室,激光加工国家工程研究中心(武汉) Optical Institute.Department of Physics.Technical University.BerlinBerlin.Germany

会议类型: 国内会议

会议名称: 第十五届全国激光学术会议

会议地点: 武汉

会议语种:中文

页码: 555-557

在线出版日期: 2002-06-01（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）