激光复合扫描剥离法制备大面积薄膜
提出了一种新的激光扫描制备大面积均匀薄膜的方法:采用光学变换让脉冲激光按设定的像月球绕太阳运动一样的轨迹旋转,复合剥离靶材制备薄膜.提出了淀积膜厚分布的理论模型,计算了有关参量对膜厚分布的影响,并与实验结果进行了比较分析.这对改善实验条件,获得最佳大面积均匀薄膜具有直接的指导意义.
大面积均匀薄膜 扫描激光淀积 光学变换传输 膜厚分布
胡少六 敖育红 王又青 龙华 李波 江超
华中科技大学激光技术国家重点实验室(武汉)
国内会议
武汉
中文
509-511
2002-06-01（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）