光学薄膜淀积监控方法研究

摘要：

提出了一种新型的极值法监控薄膜淀积层厚精度的方法.该方法通过设计和高速监控波长,改变各层膜的反射率极值过正量而将被镀膜层精确地停镀于对膜厚变化敏感的设计值.运用这一方法可以提高淀积规整膜系的层厚监控精度.

关键词： 薄膜淀积 极值法 光学薄膜 层厚监控 薄膜制备

作者: 杨明红 刘劲松 陈清明

作者单位: 华中科技大学激光技术国家重点实验室(武汉) 武汉金石凯激光技术公司(武汉)

会议类型: 国内会议

会议名称: 第十五届全国激光学术会议

会议地点: 武汉

会议语种:中文

页码: 500-502

在线出版日期: 2002-06-01（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）