热氧化制备纳米氧化锌薄膜的光致发光特性研究

摘要：

报道了利用低压金属有机汽相外延(LP-MOCVD)工艺首先在硅(n-Si衬底上生长硫化锌(ZnS)薄膜,然后将硫化锌薄膜在氧气中于不同温度下进行热氧化,制备高质量的纳米氧化锌(ZnO)薄膜.X射线衍射(XRD)结果表明,氧化锌具有六角纤锌矿型结构且具有择优(002)取向.在900℃退火的样品的光致发光(PL)中,观察到一束强的380nm紫外光致发光和相当弱的深能级发射.紫外发光强度与深能级发射强度之比是28,表明纳米ZnO薄膜的高质量结晶.

关键词： 光致发光 近带边发射 自由激子 纳米氧化锌薄膜 半导体薄膜 半导体薄膜

作者: 张喜田 刘益春 马剑钢 张吉英 申德振 许武 钟国柱 范希武

作者单位: 中国科学院长春光学精密机械与物理研究所激发态重点实验室(长春)哈尔滨师范大学物理系(哈尔滨) 中国科学院长春光学精密机械与物理研究所激发态重点实验室(长春)

会议类型: 国内会议

会议名称: 第十五届全国激光学术会议

会议地点: 武汉

会议语种:中文

页码: 491-493

在线出版日期: 2002-06-01（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）