脉冲激光淀积薄膜专家系统

摘要：

介绍了自主开发的脉冲激光淀积薄膜专家系统的功能、结构和原理;阐述了该专家系统的设计思想;最后对该专家系统的适用条件、应用情况和进一步拓展的目标进行了讨论.

关键词： 脉冲激光沉积 专家系统 薄膜制备

作者: 张立 蒋毅坚

作者单位: 北京工业大学国家产学研激光技术中心(北京)

会议类型: 国内会议

会议名称: 第十五届全国激光学术会议

会议地点: 武汉

会议语种:中文

页码: 481-482

在线出版日期: 2002-06-01（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）