1315nm高反射率硅镜的膜系分析

摘要：

利用TFCALC薄膜设计软件包对TiO<,2>/SiO<,2>,Ta<,2>O<,5>/SiO<,2>和Si/SiO<,2>膜系中心波长为1315nm的硅镜反射特性进行了仿真模拟.给出了正入射与45°斜入射情况下三种膜系硅镜的反射特性,并进行了分析与讨论.

关键词： 化学氧碘激光器 硅镜 高反射率 反射特性 激光薄膜

作者: 彭玉峰 程祖海 张耀宁 周次明 杨春华

作者单位: 华中科技大学激光技术国家重点实验室(武汉)

会议类型: 国内会议

会议名称: 第十五届全国激光学术会议

会议地点: 武汉

会议语种:中文

页码: 462-464

在线出版日期: 2002-06-01（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）