用于离子激光器的容性耦合射频放电理论模型

摘要：

利用两电子组模型,建立了用于离子激光器的窄电极间距中等气压下的容性直流电合射频放电的自洽理论模型,研究了放电参量与射频电压之间的变化关系,以及不同电离机制在运行模式转变中的作用,得到了窄间距射频放电在高电流模式下类似于直流空心阴极放电的结论.

关键词： 容性耦合射频放电 离子激光器 窄电极间距 阴极放电

作者: 赖建军 王新兵 丘军林 余建华

作者单位: 华中科技大学激光技术国家重点实验室(武汉) 深圳大学光电子工程系(深圳)

会议类型: 国内会议

会议名称: 第十五届全国激光学术会议

会议地点: 武汉

会议语种:中文

页码: 197-200

在线出版日期: 2002-06-01（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）