纳米技术的最新进展

摘要：

纳米技术是深入到原子级微观世界的新技术,最近获得了极大的进展,这是一个新的科技发展领域,有可能使多个科技领域产生重大突破,各国都给予极大的重视.本文中介绍了纳米技术的几个主要方面的最新研究进展情况:纳米级精度的测量;扫描隧道显微镜和原子力显微镜;超精密加工和原子级加工;纳米材料;微型机械和微型机电系统;纳米生物学等.

关键词： 纳米技术 纳米材料 超精密加工 微机电系统

作者: 袁哲俊

作者单位: 哈尔滨工业大学机电学院

会议类型: 国内会议

会议名称: 2001年“面向21世纪的生产工程”学术会议既企业生产工程与产品创新专题研讨会

会议地点: 广州

会议语种:中文

页码: 35-40

在线出版日期: 2001-11-01（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）